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모델명 : U30H
1.대형 성막장치, 스페이스 챔버등에 최적
2.수분에 대한 배기속도는 최대
배기속도(20℃)질소L/s28,000
수소43,000
Argon23,000
Water70,000
도달능력Pa(Torr)10-7(10-9)
최대유량ArgonPaL/s(TorrL/s)2.7×103(20)
수소7.4×102(5.6)
배기용량ArgonPaL(TorrL)7.8×108(5.9×106)
수소1.5×107(1.1×105)
냉각강하시간min(Hz)240/200(50/60)
Cooldown time
COMPRESSORC30VRx2
무게Kg175
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