FEATURE VS-OIL-
DIFFUSION

CRYO PUMP VS TMP

CRYO PUMP는 TMP에 비해 무겁거나 가벼운 기체분자에 상관없이 모든 기체를 동시에 배기합니다.
또한, PUMP 내부에 구동부가 노출되지 않으므로 이물질이 유입되어도 정상 작동하여 안심하고 사용할 수 있습니다.
Chamber 내부에는 H2O 분자가 가장 많이 존재하고 있습니다.
CRYO PUMP는 모든 기체분자를 극저온면에 흡착, 응축하는 방식으로 배기하므로 H2O의 배기에 월등한 능력을 가지고 있습니다.
기체 분자별로 배기 구간이 나뉘어져 있어 SPEC상의 배기능력과 동일한 성능을 발휘할 수 있습니다.



비교분석

CRYO PUMP와 TURBO MOLECULAR PUMP의 성능을 표와 그래프로 확인하실 수 있습니다.

비교
구분 CRYO PUMP TURBO MOLECULAR PUMP
배기 속도 N2 (L/s) 1.3~1.7배 1 (기준)
배기 속도 H2 (L/s) 2.7~4.7배 1 (기준)
배기 속도 H2O (L/s) 3.5~4.6배 1 (기준)
동일 Size의 배기 성능 3배 (평균) 1 (기준)
동일 성능 시 소비 전력 1 (기준) 2~5배
Chamber 부착 방향 360° 수직(90°), 수평(180°)
Maintenance 편리함 복잡함
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